德國EVOCHEM蒸發材料技術綜述

在物理氣相沉積（PVD）領域，材料的選擇對薄膜性能有關鍵影響，德國EVOCHEM Advanced Materials GmbH的產品為此提供了多種選擇。

德國EVOCHEM Advanced Materials GmbH是一家致力于高純材料與薄膜材料研發與生產的德國企業。該公司為全球研發與工業生產領域提供多種蒸發材料、濺射靶材及PVD相關耗材。

其產品線涵蓋純金屬、氧化物、氟化物等多種材料，用于光學鍍膜、微電子、半導體等多個領域。

01 品牌與產品概述

EVOCHEM Advanced Materials GmbH是一家位于德國的生產商，專注于高純材料與薄膜沉積材料。

該公司為物理氣相沉積（PVD）技術提供多種產品，其產品組合涵蓋各種蒸發材料、高效濺射靶材、晶體監測儀、蒸發線圈以及PVD耗材（如坩堝、舟和細絲）。

公司提供純金屬和超純金屬產品，其純度范圍從99.00%至99.999999%。這些材料可用于光學涂層、耐磨裝飾涂層、微電子、半導體、光學數據存儲、顯示器和太陽能電池等領域。

02 產品類型與型號

EVOCHEM提供多種形態的蒸發材料，包括 顆粒、片劑、線材、箔、片材、棒材、管材和靶材 等，以滿足不同沉積工藝的需求。

主要產品類型

EVOCHEM的產品范圍主要包括以下類型：

? 純金屬：如鋁、銻、硼、碳、銪等，純度高達99.9999%

? 氧化物：用于光學鍍膜等的氧化物材料

? 氟化物：如氟化鎂等

? 硼化物/碳化物：用于特定要求的涂層

? 硫化物/硒化物：可用于光電等領域

? 氮化物：如氮化硅等

? 碲化物：用于特種薄膜沉積

? 定制混合物：根據客戶需求定制的混合材料

? 疏水材料：如ETC系列超疏水涂層材料

? 貴金屬：包括金、銀等

主要產品型號

EVOCEM提供的主要產品型號包括以下：

? ETC-TOP：入門級疏水材料，接觸角大于105°

? ETC-PRO：用于眼科行業的專用疏水材料

? ETC-PRO UV+：具有較高耐氣候要求的納米涂層材料

? ETC-PRO AB+：具有較高耐用性和光滑性的疏水應用材料

? Al（鋁粒）：高純度鋁蒸發材料

? SiO?（二氧化硅片）：用于光學鍍膜等的氧化物蒸發材料

? MgF?（氟化鎂錠）：氟化物蒸發材料

? Ti（鈦線）：鈦金屬蒸發材料

? Cr（鉻粒）：鉻金屬蒸發材料

? ITO（氧化銦錫片）：用于透明導電涂層等的材料

03 技術參數與工作原理

產品介紹與技術參數

ETC-TOP疏水材料是EVOCHEM ETC產品系列中的入門級產品，具有高耐磨性和易清潔特性。其技術參數包括：

? 蒸發溫度范圍：400 - 800°C（推薦600°C）

? 腔室壓力：<4×10?? mbar

? 涂層厚度：約10至20納米

? 襯底溫度：AR涂層CR39玻璃60℃

? 存儲條件：未開封時6個月，陰涼干燥條件下

? 涂覆后固化條件：24小時@25℃或30分鐘120攝氏度

? 純金屬蒸發材料如鋁、鈦等，可提供較高的純度（高達99.9999%），并有顆粒、線材等多種形態可選。

工作原理

EVOCHEM的蒸發材料主要用于物理氣相沉積（PVD）工藝。PVD是一種沉積過程，蒸發材料在真空或低壓環境中從固體源通過熱蒸發或電子束轟擊等方式轉化為氣態。

這些氣態原子或分子隨后以蒸汽形式傳輸到基板表面，并在其上冷凝形成薄膜涂層。

對于疏水材料如ETC-TOP，其作用機制是通過材料分子的一端與氧化物表面（如SiO?）形成共價鍵，另一端（全氟化）則遠離表面對齊，從而降低表面能，產生易于清潔的特性。

04 核心特點

EVOCHEM蒸發材料具有以下幾個特點：

? 材料純度選擇多：產品提供從工業級到科研級的多種純度選擇（99.00% - 99.999999%），以適應不同應用場景對材料純度的要求。

? 產品形態多樣：根據蒸發源和設備類型，提供顆粒、片劑、線材、錠料、箔、片材、棒材、管材和靶材等多種物理形態，便于用戶在不同沉積工藝中使用。

? 工藝穩定性：材料具有較低的噴濺特性，有利于獲得低缺陷涂層。例如，ETC系列片劑的設計允許穩定和受控的涂層工藝，從而實現每次涂層運行的產量。

? 符合環保規范：產品符合相關立法要求，如ETC系列產品不含全氟辛烷磺酸（PFOS）和全氟辛酸（PFOA），并可提供相應的材料安全數據表(MSDS)和符合RoHS指令的證書。

05 應用領域

EVOCHEM蒸發材料的應用領域主要包括以下五個方面：

? 光學鍍膜：用于眼鏡片、相機鏡頭、激光鏡片上的增透膜（AR涂層）、高反射膜等。ETC系列疏水材料可應用于這些光學元件的表面保護。

? 微電子與半導體：用于半導體元件中電極的金屬鍍層、集成電路中的絕緣層或介質層。高純度金屬和氧化物材料在此領域有應用。

? 顯示技術與太陽能電池：用于薄膜太陽能電池板中功能層的制備，以及顯示器中的透明導電涂層（如ITO）。

? 裝飾與耐磨涂層：用于手機外殼、手表等消費品表面的裝飾性及耐磨涂層，提高產品的美觀度和耐用性。

? 研發與實驗：各大院校、研究機構進行新材料、新工藝的探索與開發，利用EVOCHEM提供的高純度材料和多種材料選擇進行科學研究。

EVOCHEM的ETC系列疏水材料，如ETC-TOP，在光學鏡片上應用時，能表現出大于105°的接觸角，并具有良好的耐磨特性。

隨著新材料和新工藝的涌現，對薄膜材料性能的要求也在不斷提升。EVOCHEM Advanced Materials GmbH通過提供多種純度和形態的蒸發材料，為不同領域的薄膜制備提供了選擇。