標(biāo)題：德國(guó)VACOM膜片式真空傳感器MEMBRAN產(chǎn)品系列

主要產(chǎn)品

真空傳感器

主要型號(hào)

MEMBRAN-01TORR45-C-3A-CF16R - 膜片式真空傳感器

MEMBRAN-1000TORR45-C-3A-CF16R

MEMBRAN-100TORR45-C-3A-CF16R

MEMBRAN-1TORR45-C-3A-CF16R

MEMBRAN-10TORR45-C-3A-CF16R

德國(guó)VACOM膜片式真空傳感器MEMBRAN產(chǎn)品系列產(chǎn)品介紹：

德國(guó)VACOM膜片式真空傳感器MEMBRAN產(chǎn)品系列

產(chǎn)品介紹（以MEMBRAN-01TORR45-C-3A-CF16R為例）

該產(chǎn)品是一款溫度調(diào)節(jié)的膜片式真空傳感器，采用電容式測(cè)量原理，適用于高精度真空測(cè)量。

技術(shù)參數(shù)：

測(cè)量范圍：1.3×10?? - 1.3×10?1 mbar

連接方式：CF法蘭

通徑：16mm

加熱溫度：110°C

接口：RS232和模擬信號(hào)

精度：0.15%

外形尺寸：33.8mm×145.7mm

工作原理：

通過電容式膜片測(cè)量真空壓力變化，溫度調(diào)節(jié)確保測(cè)量穩(wěn)定性，數(shù)字和模擬接口提供多種數(shù)據(jù)輸出方式。

德國(guó)VACOM膜片式真空傳感器MEMBRAN產(chǎn)品系列優(yōu)勢(shì)特點(diǎn)

? 測(cè)量精度高，穩(wěn)定性好

? 溫度調(diào)節(jié)功能確保測(cè)量一致性

? 多種接口可選，兼容性強(qiáng)

? 結(jié)構(gòu)緊湊，安裝方便

? 符合PCS清潔度標(biāo)準(zhǔn)

德國(guó)VACOM膜片式真空傳感器MEMBRAN產(chǎn)品系列主要應(yīng)用：

德國(guó)VACOM膜片式真空傳感器MEMBRAN產(chǎn)品系列產(chǎn)品。

半導(dǎo)體制造設(shè)備

科研實(shí)驗(yàn)裝置

真空鍍膜系統(tǒng)